Поиск

Выпуск
Название
Авторы
Том 53, № 2 (2024)
Структурные особенности и электрические свойства термомиграционных каналов Si(Al) для высоковольтных фотоэлектрических преобразователей
Ломов А.А., Середин Б.М., Мартюшов С.Ю., Татаринцев А.А., Попов В.П., Малибашев А.В.
PDF
(Rus)
Том 53, № 4 (2024)
Микроструктура островковых пленок Al на Si(111) при магнетронном напылении: влияние температуры подложки
Ломов А.А., Захаров Д.М., Тарасов М.А., Чекушкин А.М., Татаринцев А.А., Васильев А.Л.
PDF
(Rus)
Том 54, № 1 (2025)
Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии
Бринкевич Д.И., Гринюк Е.В., Просолович В.С., Зубова О.А., Колос В.В., Бринкевич С.Д., Вабищевич С.А.
PDF
(Rus)
Том 52, № 1 (2023)
Контроль параметров травления кремния в вч плазме CHF3 методом оптической эмиссионной спектроскопии
Мурин Д.Б., Чесноков И.А., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М.
PDF
(Rus)
Том 53, № 2 (2024)
Временные изменения механизмов токопрохождения в легированном эрбием пористом кремнии
Хамзин Э.Х., Услин Д.А.
PDF
(Rus)
1 - 5 из 5 результатов
Подсказки:
  • Ключевые слова чувствительны к регистру
  • Английские предлоги и союзы игнорируются
  • По умолчанию поиск проводится по всем ключевым словам (агенс AND экспериенцер)
  • Используйте OR для поиска того или иного термина, напр. образование OR обучение
  • Используйте скобки для создания сложных фраз, напр. архив ((журналов OR конференций) NOT диссертаций)
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки, напр. "научные исследования"
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или оператора NOT; напр. конкурс -красоты или же конкурс NOT красоты
  • Используйте * в качестве версификатора, напр. научн* охватит слова "научный", "научные" и т.д.